Nghiên Cứu Chế Tạo Và Khảo Sát Màng Mỏng Ôxit Nhôm (Al2O3) Bằng Phương Pháp Quang Phổ

Nghiên cứu Chế tạo và Khảo sát Màng Mỏng Ôxit Nhôm (Al2O3) Bằng Phương Pháp Quang Phổ

Tác giả: Giang Văn Phúc

Lĩnh vực: Vật lý Quang học

Nội dung tài liệu:

Luận án này tập trung vào việc nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (Al2O3) bằng phương pháp quang phổ. Nội dung đề tài bao gồm việc mô phỏng quá trình phún xạ để hỗ trợ chế tạo màng, mô phỏng phổ tử ngoại khả kiến để xác định các tham số quang, cũng như chế tạo màng mỏng Al2O3 trên các đế khác nhau bằng các phương pháp phún xạ magnetron RF, sol gel và điện hóa. Nghiên cứu cũng đi sâu vào khảo sát các màng đã tạo bằng các phương pháp quang phổ hồng ngoại, nhiễu xạ tia X, Raman và tử ngoại khả kiến. Cuối cùng, đề tài ghi nhận quá trình chuyển pha của các màng Al2O3 để tổng kết các quy trình chuyển pha vật liệu ôxit nhôm dạng màng.

Mục lục chi tiết:

• Phần Mở Đầu
• Phần I: Tổng quan
  • Chương 1: Vật liệu Al2O3
  • Chương 2: Các phương pháp tạo màng mỏng
  • Chương 3: Mô phỏng trong vật lý
• Phần II: Thực nghiệm
  • Chương 4: Mô phỏng phún xạ magnetron – Mô phỏng phổ UVVIS và tạo mẫu màng Al2O3
  • Chương 5: Khảo sát màng mỏng Al2O3 thực hiện bằng phún xạ RF
  • Chương 6: Khảo sát màng mỏng Al2O3 thực hiện bằng SOL-GEL
  • Chương 7: Khảo sát màng mỏng Al2O3 thực hiện bằng điện hóa
• Phần III: Kết luận
• Tài liệu tham khảo
• Danh mục các công trình công bố của tác giả
• Phụ lục