Nghiên cứu công nghệ chế tạo dây và cột nano silic trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử

Nghiên Cứu Công Nghệ Chế Tạo Dây Và Cột Nano Silic Trên Cơ Sở Công Nghệ Vi Cơ Điện Tử

Lĩnh vực: Nghiên cứu và chế tạo vật liệu nano

Nội dung tài liệu:
Luận án này tập trung nghiên cứu và đề xuất các quy trình chế tạo dây và cột nano silic theo hướng “trên-xuống” (top-down) bằng công nghệ vi cơ điện tử, phù hợp với điều kiện công nghệ trong nước. Đề tài lý giải sự cần thiết của hướng nghiên cứu này, xuất phát từ những ứng dụng phong phú của vật liệu nano silic trong nhiều lĩnh vực. Luận án trình bày chi tiết hai phương pháp chính: chế tạo dây nano silic bằng kỹ thuật quang khắc và ăn mòn ướt, cùng với việc tối ưu hóa kích thước thông qua hiện tượng dính ướt; và chế tạo cột nano silic bằng kỹ thuật khắc hạt nano kết hợp với ăn mòn hóa học hỗ trợ kim loại. Các kết quả nghiên cứu đã được đánh giá thông qua các phép đo thực nghiệm và một phần đã được công bố trên các tạp chí khoa học quốc tế uy tín.

Mục lục chi tiết:
– Mở đầu
– Chương 1: Tổng quan về dây và cột nano silic
– Chương 2: Các kỹ thuật thực nghiệm
– Chương 3: Nghiên cứu chế tạo dây nano silic bằng công nghệ vi cơ khối ướt