Xem trước tài liệu

Đang tải tài liệu...

Thông tin chi tiết tài liệu

Định dạng: PDF
Số trang: 175 trang
Dung lượng: Đang cập nhật

Giới thiệu nội dung

Nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (Al2O3) bằng phương pháp quang phổ

Nội dung tài liệu:
Tài liệu này trình bày một nghiên cứu chuyên sâu về màng mỏng ôxit nhôm (Al2O3), một vật liệu có nhiều tiềm năng ứng dụng trong các lĩnh vực kỹ thuật cao. Nghiên cứu tập trung vào việc chế tạo và khảo sát các đặc tính của màng mỏng Al2O3 thông qua các phương pháp quang phổ.

Mục lục chi tiết:

  • PHẦN MỞ ĐẦU
  • PHẦN I: TỔNG QUAN
    • CHƯƠNG 1: VẬT LIỆU Al2O3
      • 1.1. Khái quát về ôxit nhôm (Al2O3)
      • 1.2. Tính đa hình (polymorphs) của ôxit nhôm
      • 1.3. Các pha của Al2O3
        • 1.3.1. Sự chuyển pha
        • 1.3.2. Pha a – Al2O3
        • 1.3.3. Pha y – Al2O3 và η – Al2O3
    • CHƯƠNG 2: CÁC PHƯƠNG PHÁP TẠO MÀNG MỎNG
      • 2.1. Phương pháp ngưng tụ từ dung dịch
      • 2.2. Phương pháp phún xạ magnetron
      • 2.3. Phương pháp điện hóa
      • 2.4. Một số tính chất màng mỏng đã được ứng dụng
    • CHƯƠNG 3: MÔ PHỎNG TRONG VẬT LÝ
      • 3.1. Tổng quan
      • 3.2. Cơ sở của mô phỏng
      • 3.3. Hệ thống – mô hình – giải pháp
      • 3.4. Ưu khuyết điểm của phương pháp mô phỏng
      • 3.5. Một số phương pháp mô phỏng
      • 3.6. Các kỹ thuật mô phỏng
      • 3.7. Một số mô hình mô phỏng trong vật lý màng mỏng
      • 3.8. Kết luận
  • PHẦN II: THỰC NGHIỆM
    • CHƯƠNG 4: MÔ PHỎNG PHÚN XẠ MAGNETRON MÔ PHỎNG PHỔ UVVIS VÀ TẠO MẪU MÀNG Al2O3
      • 4.1. Mô phỏng phún xạ
      • 4.2. Một số thông tin ban đầu chuẩn bị cho mô phỏng
      • 4.3. Thực hiện mô phỏng phún xạ
      • 4.4. Mô phỏng phổ UVVIS
      • 4.5. Tạo mẫu màng, đo phổ và xử lý phổ đo
    • CHƯƠNG 5: KHẢO SÁT MÀNG MỎNG Al2O3 THỰC HIỆN BẰNG PHÚN XẠ RF
      • 5.1. Tạo màng mỏng Al2O3 bằng phún xạ RF
      • 5.2. Khảo sát sự chuyển pha
      • 5.3. Kết luận chương 5
    • CHƯƠNG 6: KHẢO SÁT MÀNG MỎNG Al2O3 THỰC HIỆN BẰNG SOL–GEL
      • 6.1. Tạo màng bằng SOL-GEL
      • 6.2. Khảo sát màng bằng quang phổ
      • 6.3. Màng Al2O3 Sol gel trên đế thạch anh
      • 6.4. Kết luận chương 6
    • CHƯƠNG 7 : KHẢO SÁT MÀNG MỎNG Al2O3 THỰC HIỆN BẰNG ĐIỆN HÓA
      • 7.1. Tạo màng bằng điện hóa
      • 7.2. Khảo sát màng điện hóa bằng phổ hồng ngoại
      • 7.3. Khảo sát màng điện hóa bằng phổ XRD
      • 7.4. Ứng dụng
      • 7.5. Kết luận chương 7
  • PHẦN III: KẾT LUẬN
    • 1. CÁC KẾT QUẢ NGHIÊN CỨU
    • 2. CÁC GIÁ TRỊ KHOA HỌC
    • 3. CÁC GIÁ TRỊ THỰC TIỄN
    • 4. NHỮNG VẤN ĐỀ CẦN TIẾP TỤC NGHIÊN CỨU
  • TÀI LIỆU THAM KHẢO
  • DANH MỤC CÁC CÔNG TRÌNH CÔNG BỐ CỦA TÁC GIẢ
  • PHỤ LỤC 1: BẢNG PHỔ XRD THAM KHẢO
  • PHỤ LỤC 2: CÁC BẢNG PHỔ IR VÀ RAMAN
  • PHỤ LỤC 3: CÁC BẢNG WYCKOFF
  • PHỤ LỤC 4: CÁC PHẦN MỀM (Đính kèm đĩa CD)