Nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen

Nghiên cứu này tập trung vào hiện tượng khuếch tán, một quá trình cơ bản trong tự nhiên, xảy ra trong mọi môi trường vật chất. Đặc biệt, đề tài đi sâu vào nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của các tạp chất trong vật liệu bán dẫn. Việc hiểu rõ các quá trình này đóng góp quan trọng vào việc khám phá các quy luật vận động của vật chất, đặc biệt trong thế giới vi mô.

Với sự phát triển của ngành công nghiệp điện tử, kỹ thuật khuếch tán tạp chất vào vật liệu bán dẫn trở nên thiết yếu để chế tạo các linh kiện bán dẫn tiên tiến. Đề tài sử dụng phương pháp thống kê mômen, một phương pháp thống kê mới, để nghiên cứu thành công các tính chất nhiệt động và đàn hồi của các tinh thể phi điều hòa. Nghiên cứu này nhằm xây dựng lý thuyết tổng quát cho sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn dưới ảnh hưởng của nhiệt độ, áp suất và độ biến dạng.

Đối tượng nghiên cứu chính là hai loại bán dẫn điển hình: Si có cấu trúc kim cương và GaAs có cấu trúc ZnS, cùng với các tạp chất phổ biến được sử dụng trong công nghệ chế tạo linh kiện bán dẫn. Kết quả nghiên cứu được kỳ vọng sẽ bổ sung, hoàn thiện lý thuyết về khuếch tán và phát triển việc áp dụng phương pháp thống kê mômen.