Luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu: Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano

Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano

Tác giả: Đặng Văn Hiếu

Lĩnh vực: Khoa học Vật liệu

Nội dung tài liệu:

Luận án này trình bày nghiên cứu về thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét. Nghiên cứu tập trung vào việc phát triển các bộ vi chấp hành một chiều (trục z) có khả năng dịch chuyển lớn, nhiễu chéo thấp và tần số hoạt động rộng. Đồng thời, luận án cũng đề xuất thiết kế bộ chấp hành dịch chuyển mũi dò ba chiều, có khả năng điều khiển độc lập, tích hợp trên cùng một linh kiện, với công nghệ chế tạo đơn giản, có thể thực hiện tại Việt Nam. Các bộ vi dịch chuyển này được định hướng ứng dụng trong việc khắc các cấu trúc nano dạng mảng hai chiều.

Nghiên cứu sử dụng phương pháp kết hợp lý thuyết và thực nghiệm, bao gồm thiết kế, khảo sát đặc trưng hoạt động dựa trên phương trình giải tích, mô phỏng số bằng phương pháp phần tử hữu hạn, và chế tạo mũi dò bằng công nghệ vi cơ điện tử. Các kết quả nghiên cứu có ý nghĩa khoa học trong việc phát triển các bộ chấp hành và cảm biến có độ chính xác cao, đồng thời có ý nghĩa thực tiễn trong việc phát triển các công cụ chế tạo cấu trúc nano với chi phí thấp, thay thế các thiết bị đắt tiền.

Mục lục chi tiết:

• Lời cam đoan
• Lời cảm ơn
• Danh mục các ký hiệu và chữ viết tắt
• Danh mục các bảng
• Danh mục các hình vẽ và đồ thị
• Mở đầu
• Chương 1: Tổng quan về khắc đầu dò quét
• Chương 2: Cơ sở lý thuyết và mô phỏng
• Chương 3: Thiết kế và mô phỏng bộ chấp hành trục Z
• Chương 4: Tính toán thiết kế và mô phỏng bộ vi dịch chuyển ba chiều XYZ
• Chương 5: Chế tạo mũi dò bằng phương pháp ăn mòn ướt
• Kết luận chung của luận án
• Định hướng nghiên cứu tiếp theo của luận án
• Danh mục các công trình đã công bố của luận án
• Tài liệu tham khảo