Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ

Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ

Tác giả: Minh Ngoc Nguyen

Lĩnh vực: Khoa học kỹ thuật, Công nghệ MEMS

Nội dung tài liệu:

Luận án tập trung nghiên cứu thiết kế và chế tạo các vi cảm biến quán tính, bao gồm vi cảm biến vận tốc góc kiểu âm thoa và vi cảm biến gia tốc kiểu tụ. Vấn đề đánh dấu vị trí của vật thể, ứng dụng của hệ thống dẫn đường quán tính (IMU) bao gồm vi cảm biến gia tốc và vận tốc góc, cùng với những ưu điểm của cảm biến MEMS là những nội dung được đề cập. Nghiên cứu cũng phân tích sâu về các công nghệ chế tạo MEMS, các loại cảm biến vận tốc góc và cảm biến gia tốc, cũng như phương pháp mô phỏng và thực nghiệm. Các kết quả nghiên cứu nhằm mục đích nâng cao hiệu quả hoạt động của cảm biến trong môi trường áp suất khí quyển và tích hợp chúng vào hệ thống dẫn đường quán tính.

Mục lục chi tiết:

• Chương 1: Tổng quan
• Chương 2: Cơ sở phương pháp mô phỏng và thực nghiệm
• Chương 3: Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc MEMS kiểu âm thoa
• Chương 4: Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến gia tốc kiểu tụ ba bậc tự do
• Kết luận