Xem trước tài liệu

Đang tải tài liệu...

Thông tin chi tiết tài liệu

Định dạng: PDF
Số trang: 157 trang
Dung lượng: 2 MB

Giới thiệu nội dung

Nghiên cứu mô phỏng, chế tạo cảm biến đo khí H2 trên cơ sở sóng âm bề mặt sử dụng vật liệu tổ hợp Paladi/Graphene

Tác giả: Nguyễn Hải Hà
Lĩnh vực: Kỹ thuật điều khiển và tự động hóa
Nội dung tài liệu:

Luận án này tập trung vào việc nghiên cứu, mô phỏng và chế tạo cảm biến đo khí Hydro (H2) dựa trên nguyên lý sóng âm bề mặt (SAW). Đề tài nhấn mạnh vào việc sử dụng vật liệu tổ hợp Paladi/Graphene làm vật liệu nhạy khí. Nghiên cứu bao gồm việc hiểu rõ cơ chế hoạt động của cảm biến SAW, thiết kế và chế tạo cảm biến ở điều kiện nhiệt độ phòng. Các phương pháp mô phỏng như FEM được áp dụng để lựa chọn các tham số tối ưu cho cảm biến, đồng thời phương pháp công nghệ vi cơ điện tử được sử dụng để chế tạo cảm biến. Kết quả nghiên cứu không chỉ nhằm nâng cao hiệu quả của cảm biến SAW đo khí mà còn cung cấp quy trình chế tạo hoàn chỉnh cho loại cảm biến này, đặc biệt là với các hạt nano Paladi phân tán trên vật liệu nhạy.

Mục lục chi tiết:

  • LỜI CAM ĐOAN
  • LỜI CẢM ƠN
  • MỤC LỤC
  • DANH MỤC HÌNH VẼ, BIỂU ĐỒ
  • DANH MỤC BẢNG BIỂU
  • DANH MỤC CÁC CHỮ VIẾT TẮT
  • DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU
  • MỞ ĐẦU
  • CHƯƠNG 1. TỔNG QUAN VỀ CẢM BIẾN SAW ĐO KHÍ H2
  • CHƯƠNG 2. NGHIÊN CỨU CƠ CHẾ HOẠT ĐỘNG CỦA CẢM BIẾN SAW ĐO KHÍ H2 THÔNG QUA MÔ PHỎNG FEM
  • CHƯƠNG 3. THIẾT KẾ, CHẾ TẠO CẢM BIẾN SAW ĐO KHÍ H2 VÀ KHẢO SÁT MỘT SỐ NHÂN TỐ ẢNH HƯỞNG
  • KẾT LUẬN VÀ HƯỚNG PHÁT TRIỂN
  • DANH MỤC CÁC CÔNG TRÌNH ĐÃ CÔNG BỐ CỦA LUẬN ÁN
  • TÀI LIỆU THAM KHẢO
  • PHỤ LỤC 1. HÌNH ẢNH CÁC BƯỚC CHẾ TẠO SAW TRONG PHÒNG SẠCH THEO CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO MICRO
  • PHỤ LỤC 2. CODE MÔ PHỎNG ANSYS
  • PHỤ LỤC 3. CODE BIẾN ĐỔI FFT