Nghiên cứu công nghệ chế tạo vật liệu nano màng, ống, hạt

Nghiên cứu công nghệ chế tạo vật liệu nanô màng, ống, hạt

Tác giả: GS. TS. Phan Hồng Khôi

Lĩnh vực: Khoa học Vật liệu

Nội dung tài liệu:

Báo cáo tổng kết đề tài nghiên cứu khoa học và công nghệ cấp trung tâm này tập trung vào việc nghiên cứu công nghệ chế tạo các vật liệu nanô dưới dạng màng, ống và hạt. Đề tài được thực hiện trong hai năm 2001-2002, do Viện Khoa học Vật liệu chủ trì với sự tham gia của nhiều đơn vị phối hợp.

Mục tiêu chính của đề tài là nắm vững công nghệ chế tạo các vật liệu nanô, bao gồm màng bán dẫn, vật liệu từ, vật liệu xốp, chấm lượng tử Ge/Si, vật liệu nanô gốc cacbon (kim cương, ống nanô cacbon). Đồng thời, nghiên cứu cấu trúc và các tính chất quang, điện, từ của các vật liệu này, hướng tới việc công bố kết quả khoa học đạt trình độ quốc tế và đặt nền móng cho sự phát triển của khoa học và công nghệ nanô trong thế kỷ 21.

Nội dung thực hiện bao gồm các mảng chính: vật liệu bán dẫn có cấu trúc nanô và vật liệu từ có cấu trúc nanô. Các phương pháp chế tạo tiên tiến như phún xạ catốt, sol-gel, bốc bay chùm phân tử (MBE), CVD đã được áp dụng và nghiên cứu chi tiết.

Mục lục chi tiết:

• Tên đề tài, Thuộc hướng khoa học công nghệ, Thời gian thực hiện, Cơ quan chủ trì, Cơ quan phối hợp, Chủ nhiệm đề tài
• Mục tiêu của đề tài
• Nội dung thực hiện
• Danh sách các cán bộ chủ chốt tham gia thực hiện
• Các công việc đã hoàn thành và các kết quả đã đạt được:
• Vật liệu bán dẫn có cấu trúc nano
• Xây dựng và phát triển các phương pháp chế tạo vật liệu
• Nanô Si xốp có bề mặt được thụ động hoá
• Nanô tinh thể Si trong nền thạch anh
• Màng mỏng Si có cấu trúc nanô
• Phương pháp chế tạo: Phún xạ catốt
• Silica xốp nanô
• Công nghệ chế tạo: Sol-gel
• Chấm lượng tử Ge/Si:
• Công nghệ chế tạo: Bốc bay chùm phân tử (MBE)
• Vật liệu nanô gốc cacbon
• Màng Kim cương chế tạo bằng phương pháp CVD
• Nghiên cứu chế tạo ống nanô cacbon bằng phương pháp lắng đọng hoá học nhiệt từ pha hơi (thermal CVD): hệ thiết bị và ống nanô cacbon