Nghiên cứu Chế Tạo Cảm Biến Khí H2 và H2S Trên Cơ Sở Màng SnO2 Biến Tính Đảo Xúc Tác Micro-Nano

Nghiên Cứu Chế Tạo Cảm Biến Khí H2 và H2S Trên Cơ Sở Màng SnO2 Biến Tính Đảo Xúc Tác Micro-Nano

Tác giả: NGUYỄN VĂN TOÁN

Lĩnh vực: Vật liệu điện tử

Nội dung tài liệu:

Luận án này tập trung vào việc nghiên cứu chế tạo cảm biến khí H₂ và H₂S dựa trên vật liệu màng mỏng SnO₂ được biến tính bằng các đảo xúc tác kích thước micro-nano. Mục tiêu chính là phát triển quy trình chế tạo cảm biến có thể ứng dụng thực tiễn trong việc quan trắc ô nhiễm môi trường và phát hiện rò rỉ khí. Nghiên cứu bao gồm việc thiết kế, chế tạo bộ mặt nạ quang học, phát triển quy trình vi điện tử để tạo điện cực và lò vi nhiệt. Đồng thời, đề tài tập trung vào việc xây dựng quy trình công nghệ chế tạo màng mỏng SnO₂ với các độ dày khác nhau, nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số chế tạo đến hình thái, vi cấu trúc và tính chất của màng mỏng. Nghiên cứu cũng tập trung vào việc sử dụng các đảo xúc tác micro bằng phương pháp phún xạ kết hợp công nghệ quang khắc để chế tạo cảm biến. Cuối cùng, các cảm biến chế tạo được thử nghiệm trên thiết bị đo để đánh giá khả năng ứng dụng.

Mục lục chi tiết:

• Chương 1: Tổng quan
• Chương 2: Thực nghiệm linh kiện cảm biến khí và công nghệ chế tạo
• Chương 3: Cảm biến khí H₂ trên cơ sở màng mỏng SnO₂ biến tính Pd (SnO₂/Pd)