Xem trước tài liệu

Đang tải tài liệu...

Thông tin chi tiết tài liệu

Định dạng: PDF
Số trang: 15 trang
Dung lượng: 1 MB

Giới thiệu nội dung

Nghiên cứu ảnh hưởng của tỉ lệ khí oxy và sự ủ nhiệt đối với màng TiO₂ chế tạo bằng pp phún xạ magneton phản ứng

Tác giả: Phạm Thanh Tâm, Lê Văn Nam

Lĩnh vực: Quang phổ Laser

Nội dung tài liệu: Tài liệu này trình bày nghiên cứu về việc chế tạo màng TiOx bằng phương pháp phún xạ magneton, tập trung vào ảnh hưởng của tỉ lệ dòng oxy và nhiệt độ ủ đến cấu trúc và tính chất của màng. Các phương pháp phân tích được sử dụng bao gồm phổ Raman, phổ quang phát quang (PL) và nhiễu xạ tia X (XRD). Nghiên cứu nhằm mục đích hiểu rõ mối quan hệ giữa các thông số chế tạo và đặc tính của màng TiO₂.

Mục lục chi tiết:

  • Mục đích
  • Giới thiệu
  • Thí nghiệm
  • Đo tính chất màng
  • Kết quả và Thảo luận
  • Kết luận