Nghiên Cứu Cải Thiện Độ Nhạy Của Cảm Biến Từ Trường Dựa Trên Nguyên Lý Sóng Âm Bề Mặt Có Kết Hợp Với Vật Liệu Từ

Nghiên cứu cải thiện độ nhạy của cảm biến từ trường dựa trên nguyên lý sóng âm bề mặt có kết hợp với vật liệu từ

Tên đề tài: Nghiên cứu cải thiện độ nhạy của cảm biến từ trường dựa trên nguyên lý sóng âm bề mặt có kết hợp với vật liệu từ

Tác giả: Đỗ Duy Phú

Lĩnh vực: Kỹ thuật điều khiển và tự động hóa

Nội dung tài liệu: Luận án này tập trung nghiên cứu chuyên sâu về cảm biến từ, đặc biệt là cảm biến từ dạng sóng âm bề mặt (SAW) kết hợp với vật liệu từ. Mục tiêu chính là cải thiện độ nhạy của loại cảm biến này, có khả năng hoạt động trong dải từ trường thấp. Luận án đề cập đến việc mô phỏng và khảo sát ảnh hưởng của các yếu tố cấu trúc như độ dày lớp nhạy từ, độ dày đế áp điện và loại vật liệu áp điện đến độ nhạy và dải đo của cảm biến. Bên cạnh đó, nghiên cứu này còn tiến hành chế tạo thực nghiệm cảm biến từ dạng SAW với vật liệu nhạy FeNiPVA và đế áp điện Quartz nhằm xác minh kết quả mô phỏng.

Mục lục chi tiết:

• Mở đầu
• Chương 1. Tổng quan về cảm biến từ dạng sóng âm bề mặt
• Chương 2. Lựa chọn cấu trúc và mô phỏng cải thiện độ nhạy cho cảm biến từ SAW-MO
• Kết luận và hướng phát triển