Nghiên cứu chế tạo và khảo sát đặc trưng của vi thấu kính trên cơ sở mảng micro-nano SU-8 ứng dụng trong hệ thống quang MEMS/NEMS

Nghiên cứu chế tạo và khảo sát đặc trưng của vi thấu kính trên cơ sở mảng micro-nano SU-8 ứng dụng trong hệ thống quang MEMS/NEMS

Tác giả: Cao Việt Anh
Lĩnh vực: Vật liệu và linh kiện Nano
Nội dung tài liệu:
Luận văn thạc sĩ này tập trung nghiên cứu và chế tạo vi thấu kính dựa trên vật liệu SU-8, khai thác tiềm năng ứng dụng trong các hệ thống quang MEMS/NEMS. Luận văn đi sâu vào các khái niệm cơ bản về thấu kính, phân loại, thành phần và nguyên lý tạo ảnh. Đặc biệt, nghiên cứu làm rõ vai trò và quy trình ứng dụng của vi thấu kính trong công nghệ MEMS/NEMS, bao gồm các bước chế tạo phức tạp như xử lý bề mặt, oxi hóa, khuếch tán, quang khắc, ăn mòn khô, phún xạ/bốc bay nhiệt và cắt phiến. Các phương pháp mô phỏng bằng phần mềm OSLO, cùng với các hóa chất và thiết bị chế tạo như photoresist SU-8, máy quay phủ, máy quang khắc và hotplate, đã được sử dụng để thực hiện quy trình chế tạo. Mục tiêu cuối cùng là ứng dụng vi thấu kính chế tạo được vào hệ thống cảm biến phát hiện Asen trong nước, nơi chúng đóng vai trò quan trọng trong việc hội tụ quang học, giảm thiểu tổn hao tín hiệu.
Mục lục chi tiết:
Chương 1: Tổng quan
Chương 2: Phương pháp thực nghiệm