Xem trước tài liệu

Đang tải tài liệu...

Thông tin chi tiết tài liệu

Định dạng: PDF
Số trang: 176 trang
Dung lượng: Đang cập nhật

Giới thiệu nội dung

Nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (Al2O3) bằng phương pháp quang phổ

Nội dung tài liệu: Luận văn này trình bày kết quả nghiên cứu về việc chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (Al2O3) bằng phương pháp quang phổ. Tài liệu bao gồm các phần tổng quan về vật liệu Al2O3, các phương pháp tạo màng mỏng, mô phỏng trong vật lý, thực nghiệm tạo và khảo sát màng mỏng Al2O3 bằng nhiều phương pháp khác nhau.

Mục lục chi tiết:

  • PHẦN MỞ ĐẦU
  • PHẦN I: TỔNG QUAN
    • CHƯƠNG 1: VẬT LIỆU Al2O3
    • CHƯƠNG 2: CÁC PHƯƠNG PHÁP TẠO MÀNG MỎNG
    • CHƯƠNG 3: MÔ PHỎNG TRONG VẬT LÝ
  • PHẦN II: THỰC NGHIỆM
    • CHƯƠNG 4: MÔ PHỎNG PHÚN XẠ MAGNETRON MÔ PHỎNG PHỔ UVVIS VÀ TẠO MẪU MÀNG Al2O3
    • CHƯƠNG 5: KHẢO SÁT MÀNG MỎNG Al2O3 THỰC HIỆN BẰNG PHÚN XẠ RF
    • CHƯƠNG 6: KHẢO SÁT MÀNG MỎNG Al2O3 THỰC HIỆN BẰNG SOL–GEL
    • CHƯƠNG 7 : KHẢO SÁT MÀNG MỎNG Al2O3 THỰC HIỆN BẰNG ĐIỆN HÓA
  • PHẦN III: KẾT LUẬN
  • TÀI LIỆU THAM KHẢO
  • DANH MỤC CÁC CÔNG TRÌNH CÔNG BỐ CỦA TÁC GIẢ
  • PHỤ LỤC