Xem trước tài liệu

Đang tải tài liệu...

Thông tin chi tiết tài liệu

Định dạng: PDF
Số trang: 10 trang
Dung lượng: 395 KB

Giới thiệu nội dung

Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng ZnO Loại n

Tác giả: Võ Kiên Trung

Lĩnh vực: Vật lý ứng dụng

Nội dung tài liệu:

Tài liệu này trình bày nghiên cứu về việc chế tạo màng mỏng ZnO pha tạp Ga (ZnO:Ga) loại n bằng phương pháp phún xạ magnetron. Màng mỏng oxyt dẫn điện trong suốt (TCO) có nhiều ứng dụng quan trọng. ZnO là một vật liệu tiềm năng với các đặc tính thân thiện môi trường, nguồn dồi dào và độ dẫn điện cao. Nghiên cứu tập trung vào việc pha tạp Ga vào mạng ZnO để khắc phục nhược điểm của các phương pháp pha tạp khác, đặc biệt là độ bền nhiệt. Tài liệu mô tả chi tiết các tính chất cơ bản, mạng tinh thể, tính chất điện, tính chất nhiệt và phương pháp tạo màng ZnO, cùng với kết quả thực nghiệm và bàn luận về tính chất của màng ZnO-Ga được chế tạo.

Mục lục chi tiết:

  • I. GIỚI THIỆU MÀNG ZnO
  • 1. Một số tính chất của màng ZnO :Ga
  • 2. Phương pháp tạo màng
  • 3. Ảnh hưởng của các thông số công nghệ đến tính chất màng
  • II. CÁC PHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH TÍNH CHẤT CỦA MÀNG
  • III. THỰC NGHIỆM VÀ KẾT QUẢ
  • IV. KẾT LUẬN
  • TÀI LIỆU THAM KHẢO