Nghiên cứu chế tạo và đặc trưng tính chất của màng phủ nitrua trên nền hợp kim cứng WC-Co bằng phương pháp phún xạ magnetron

Nghiên cứu Chế tạo Và Đặc Trưng Tính Chất Của Màng Phủ Nitrua Trên Nền Hợp Kim Cứng Wc-Co Bằng Phương Pháp Phún Xạ Magnetron

Chuyên ngành: Kim loại học

Mã số: 9.44.01.29

Nội dung tài liệu:

Nghiên cứu này tập trung vào việc chế tạo và đặc trưng hóa các tính chất của màng phủ nitrua đa nguyên tố trên nền hợp kim cứng WC-Co bằng phương pháp phún xạ magnetron. Màng phủ đơn lớp thuộc nhóm TiAlXN (với X là Si, B, V) và màng phủ đa lớp TiAlXN/CrN (với X là Si, B) đã được chế tạo. Mục tiêu của đề tài là đạt được độ cứng cao và hệ số ma sát thấp cho các loại màng phủ này, nhằm mở rộng khả năng ứng dụng của chúng trong các ngành công nghiệp. Luận án cũng xem xét ảnh hưởng của các thông số quy trình sản xuất, đặc biệt là lưu lượng khí N2, đến cấu trúc, thành phần, độ cứng, hệ số ma sát và khả năng chống mài mòn của màng.

Mục lục chi tiết:

• Chương 1. Tổng quan
• Chương 2. Chuẩn bị mẫu và phương pháp nghiên cứu
• Chương 3. Chế tạo màng phủ cứng đơn lớp TiAIXN (X: Si, B, V)