Luận án Tiến sĩ Vật liệu và linh kiện nanô: Nghiên cứu chế tạo cảm biến từ trường có kích thước micro-nano dạng cầu Wheatstone dựa trên hiệu ứng từ-điện trở dị hướng

NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO CẢM BIẾN TỪ TRƯỜNG CÓ KÍCH THƯỚC MICRO-NANO DẠNG CẦU WHEATSTONE DỰA TRÊN HIỆU ỨNG TỪ-ĐIỆN TRỞ DỊ HƯỚNG

Tác giả: Lê Khắc Quỳnh

Lĩnh vực: Vật liệu và linh kiện nanô

Nội dung tài liệu:

Luận án này tập trung vào việc nghiên cứu, thiết kế và chế tạo các cảm biến từ trường có kích thước micro-nano, sử dụng cấu trúc cầu Wheatstone và dựa trên hiệu ứng từ-điện trở dị hướng. Nghiên cứu bao gồm việc tổng quan về vật liệu sắt từ, các loại cảm biến từ trường, ứng dụng mạch cầu Wheatstone, cũng như phương pháp thực nghiệm để chế tạo và khảo sát đặc tính của các cảm biến này. Đặc biệt, luận án đi sâu vào nghiên cứu cấu trúc và tính chất của màng NiFe, cũng như phát triển khả năng ứng dụng của cảm biến trong đo hướng từ trường Trái đất và ứng dụng sinh học.

Mục lục chi tiết:

• Chương 1: Tổng quan vật liệu sắt từ mềm và cảm biến từ trường
• Chương 2: Các phương pháp thực nghiệm
• Chương 3: Nghiên cứu cấu trúc và tính chất của màng NiFe
• Chương 4: Nghiên cứu thiết kế, chế tạo cảm biến từ trường dạng cầu Wheatstone dựa trên hiệu ứng từ-điện trở dị hướng
• Chương 5: Phát triển khả năng ứng dụng của cảm biến dạng cầu Wheatstone dựa trên hiệu ứng từ-điện trở dị hướng
• Kết luận và kiến nghị
• Danh mục các bảng biểu
• Danh mục các hình vẽ, đồ thị
• Danh mục các ký hiệu và chữ viết tắt
• Tài liệu tham khảo