Nghiên Cứu, Chế Tạo Cảm Biến Đo Từ Trường Dựa Trên Hiệu Ứng Hall Phẳng Dạng Chữ Thập

Nghiên Cứu, Chế Tạo Cảm Biến Đo Từ Trường Dựa Trên Hiệu Ứng Hall Phẳng Dạng Chữ Thập

Tác giả: Trần Thị Cúc Quỳnh

Lĩnh vực: Vật lý chất rắn

Nội dung tài liệu:
Khóa luận tập trung nghiên cứu và chế tạo cảm biến đo từ trường ứng dụng hiệu ứng Hall phẳng với cấu trúc dạng chữ thập. Khóa luận đi sâu vào phân loại vật liệu từ, bao gồm chất nghịch từ, thuận từ, phản sắt từ, Feri từ và sắt từ, đặc biệt là các vật liệu từ mềm và từ cứng. Bên cạnh đó, đề tài còn đề cập đến các hiệu ứng từ điện trở như hiệu ứng từ điện trở thường và hiệu ứng AMR, cũng như hiệu ứng Hall thường và hiệu ứng Hall phẳng. Phần thực nghiệm mô tả quy trình chế tạo cảm biến, bao gồm việc sử dụng máy phún xạ, hệ đo tính chất từ bằng từ kế mẫu rung VSM và hệ đo hiệu ứng Hall phẳng. Cuối cùng, khóa luận trình bày kết quả khảo sát tính chất từ của lớp màng NiFe và tín hiệu Hall của các cảm biến, từ đó đưa ra kết luận về đề tài.

Mục lục chi tiết:

• Mở đầu
• Chương 1: Tổng quan
• Chương 2: Các phương pháp thực nghiệm
• Chương 3: Kết quả và thảo luận
• Kết luận
• Tài liệu tham khảo