Xem trước tài liệu

Đang tải tài liệu...

Thông tin chi tiết tài liệu

Định dạng: PDF
Số trang: 19 trang
Dung lượng: 2 MB

Giới thiệu nội dung

Ứng dụng phát xạ nhiệt điện tử trong SEM

Tác giả: Võ Thị Ngọc Thủy
Giáo viên hướng dẫn: PGS.TS Lê Văn Hiếu

Lĩnh vực: Kính hiển vi điện tử quét (SEM)

Nội dung tài liệu:
Tài liệu này trình bày tổng quan về kính hiển vi điện tử quét (SEM), bao gồm lịch sử phát triển, cấu tạo chi tiết của các bộ phận chính như súng điện tử, hệ thống thấu kính từ và hệ thống thu nhận ảnh. Tài liệu cũng đi sâu vào nguyên lý hoạt động, độ phân giải, các hiện tượng quang sai và cách khắc phục, cũng như các ưu điểm nổi bật của SEM so với các loại kính hiển vi khác.

Mục lục chi tiết:

  • Giới thiệu về kính hiển vi điện tử quét SEM
  • Cấu tạo của SEM
    • Súng điện tử
    • Hệ thấu kính từ
    • Hệ thống thu nhận và tạo ảnh
  • Nguyên tắc hoạt động của kính hiển vi điện tử SEM
  • Độ phân giải của kính hiển vi SEM
  • Hiện tượng quang sai (Aberration)
    • Cầu sai (Spherical aberration)
    • Sắc sai (Chromatic aberration)
  • Cách khắc phục quang sai
  • Ưu điểm của SEM