Xem trước tài liệu

Đang tải tài liệu...

Thông tin chi tiết tài liệu

Định dạng: PDF
Số trang: 200 trang
Dung lượng: Đang cập nhật

Giới thiệu nội dung

Tạo màng dẫn điện trong suốt bằng phương pháp phún xạ magnetron

Tác giả: Trần Cao Vinh

Lĩnh vực: Vật lý

Nội dung tài liệu:

Luận án tiến sĩ này trình bày nghiên cứu về việc chế tạo và khảo sát vật liệu màng mỏng trong suốt dẫn điện (Transparent Conducting – TC). Các vật liệu được tập trung nghiên cứu bao gồm Indium Tin Oxide (ITO) và Gallium Zinc Oxide pha tạp Ga (GZO) bằng phương pháp phún xạ magnetron. Luận án sử dụng phương pháp phân tích phổ truyền qua quang học trong vùng UV-Vis-NIR, kết hợp với mô hình hàm điện môi từ lý thuyết Drude và dao động Lorentz để xác định các tính chất quang học của màng mỏng. Các phép đo thực nghiệm khác như hiệu ứng Hall, 4 mũi dò, đo độ dày Stylus cũng được áp dụng song song với phân tích quang học.

Nghiên cứu về ITO tập trung vào việc chế tạo, khảo sát tính chất quang, điện, tính chất tinh thể dưới các điều kiện chế tạo khác nhau và xử lý nhiệt, từ đó đề xuất điều kiện tối ưu. Luận án cũng đưa ra cơ chế giải thích sự tăng trưởng định hướng ưu tiên các mặt tinh thể của ITO (222), đặc biệt hữu ích cho ứng dụng OLED.

Đối với GZO, luận án tập trung vào việc chế tạo vật liệu gốm dẫn điện cho bia phún xạ, sau đó chế tạo và khảo sát các tính chất quang, điện, tinh thể của màng dưới các điều kiện phún xạ magnetron RF. Luận án cũng làm rõ quy luật hình thành ion âm trong quá trình phún xạ từ bia ZnO pha tạp, giải thích ảnh hưởng của tạp chất lên tính chất điện của màng ZnO. Kết quả nghiên cứu cho thấy GZO có ưu điểm về độ bền nhiệt và tốc độ phủ màng so với các vật liệu thay thế ITO khác.

Mục lục chi tiết:

  • MỞ ĐẦU
  • CHƯƠNG 1. ÔXÍT DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT
  • CHƯƠNG 2. THỰC NGHIỆM VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU
  • CHƯƠNG 3. MÀNG MỎNG ITO
  • CHƯƠNG 4. MÀNG MỎNG GZO
  • KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ
  • DANH MỤC CÁC CÔNG TRÌNH
  • TÀI LIỆU THAM KHẢO