Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật điều khiển và tự động hóa: Nghiên cứu cải thiện độ nhạy của cảm biến từ trường dựa trên nguyên lý sóng âm bề mặt có kết hợp với vật liệu từ

Nghiên Cứu Cải Thiện Độ Nhạy Của Cảm Biến Từ Trường Dựa Trên Nguyên Lý Sóng Âm Bề Mặt Có Kết Hợp Với Vật Liệu Từ

Tác giả: Đỗ Duy Phú

Lĩnh vực: Kỹ thuật điều khiển và tự động hóa

Nội dung tài liệu:

Luận án này tập trung nghiên cứu cải thiện độ nhạy của cảm biến từ trường dựa trên nguyên lý sóng âm bề mặt (SAW), có kết hợp với vật liệu từ. Đề tài tiến hành khảo sát ảnh hưởng của các yếu tố cấu trúc, bao gồm độ dày lớp nhạy từ và độ dày của đế áp điện, đến độ nhạy và dải đo của cảm biến trong dải từ trường thấp.

Nghiên cứu bao gồm việc mô phỏng tính toán cấu trúc cảm biến tối ưu cho độ nhạy cao, áp dụng phương pháp mô phỏng động lực học phân tử (MD) để xác định các thông số vật liệu nhạy từ, và sau đó sử dụng mô phỏng FEM để đánh giá điều kiện làm việc của cảm biến. Luận án cũng trình bày quy trình kỹ thuật chế tạo cảm biến từ dạng SAW sử dụng vật liệu nhạy từ FeNiPVA và đế áp điện Quartz, đồng thời đề xuất phương án xây dựng mô hình ma trận truyền [ABCD] cho lớp nhạy FeNi.

Mục lục chi tiết:

• Lời cam đoan
• Lời cảm ơn
• Mục lục
• Danh mục hình vẽ và biểu đồ
• Danh mục bảng biểu
• Danh mục các chữ viết tắt
• Danh mục các ký hiệu
• Mở đầu
• Chương 1: Tổng quan về cảm biến từ dạng sóng âm bề mặt
• Chương 2: Lựa chọn cấu trúc và mô phỏng cải thiện độ nhạy cho cảm biến từ SAW-MO
• Chương 3: Nghiên cứu chế tạo cảm biến từ SAW-MO trên cơ sở vật liệu nhạy từ FeNiPVA
• Kết luận và hướng phát triển
• Danh mục các công trình đã công bố của luận án
• Tài liệu tham khảo
• Phụ lục