Xem trước tài liệu

Đang tải tài liệu...

Thông tin chi tiết tài liệu

Định dạng: PDF
Số trang: 53 trang
Dung lượng: 759 KB

Giới thiệu nội dung

Nghiên cứu quy trình công nghệ quang khắc trong phòng sạch sử dụng chế tạo linh kiện kích thước micro

Tác giả: Trần Anh Quang

Lĩnh vực: Vật Lý Kỹ Thuật

Nội dung tài liệu:

Khóa luận này tập trung nghiên cứu các quy trình chế tạo cấu trúc kích thước micro-met bằng công nghệ quang khắc được thực hiện trong phòng sạch. Báo cáo bao gồm các nghiên cứu về: ảnh hưởng của nhiệt độ nung mẫu ban đầu, thời gian chiếu UV, tốc độ quay phim, thời gian chiếu sáng UV lần 2 đến chất lượng của màng, tốc độ rửa trôi chất cảm quang, độ dày màng sau khi quang khắc. Từ đó tìm ra các thông số phù hợp để tạo ra một cấu trúc linh kiện kích thước micro-met hoàn chỉnh.

Mục lục chi tiết:

  • Chương 1. Tổng quan về công nghệ khắc hình
  • Chương 2. Thực nghiệm
  • Chương 3. Kết quả và thảo luận
  • Kết luận chung