Xem trước tài liệu

Đang tải tài liệu...

Thông tin chi tiết tài liệu

Định dạng: PDF
Số trang: 23 trang
Dung lượng: 464 KB

Giới thiệu nội dung

Nghiên Cứu Cấu Trúc Tinh Thể Của Màng Tinh Thể AIN Được Nuôi Bằng Phương Pháp Mọc Ghép Pha Hơi Hydrua Trên Đế Sapphire Được Kết Cấu Rãnh

Tác giả: TS. Đinh Thanh Khẩn

Lĩnh vực: Khoa học và công nghệ

Nội dung tài liệu:

Nghiên cứu này tập trung vào việc chế tạo và đặc trưng cấu trúc tinh thể của màng nhôm nitride (AlN) trên đế sapphire (a-Al2O3) đã được tạo rãnh bằng phương pháp mọc ghép pha hơi hydrua. Các phương pháp nhiễu xạ tia X, bao gồm nhiễu xạ tia X thông thường, nhiễu xạ tia X vi mô (XRMD), và kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM) đã được sử dụng để phân tích cấu trúc màng. Nghiên cứu đã xác định sự uốn cong của mạng tinh thể AlN do sự không tương thích về mạng và nhiệt giữa AlN và a-Al2O3, cũng như làm sáng tỏ cấu trúc vi mô của màng. Kết quả cho thấy màng AlN bị uốn cong lồi lên dọc theo hướng [1100] và sự uốn cong này có thể được gán cho sự xuất hiện của strain trong màng.

Mục lục chi tiết:

  • Chương 1: Tổng quan
  • Chương 2: Nghiên cứu sự uốn cong màng tinh thể của màng AlN được mọc ghép trên đế tạo rãnh a-Al2O3 sử dụng nhiễu xạ tia X
  • Chương 3: Nghiên cứu hình thái học tinh thể vi mô của màng AlN chế tạo trên đế tạo rãnh AlN/a-Al2O3 bằng phương pháp nhiễu xạ tia X vi mô