Xem trước tài liệu

Đang tải tài liệu...

Thông tin chi tiết tài liệu

Định dạng: PDF
Số trang: 50 trang
Dung lượng: 1 MB

Giới thiệu nội dung

Màng mỏng nhạy khí – Sensor thin film

Tác giả: GVHD: PGS-TS LÊ VĂN H; HVCH: NGUYỄN HOÀNG TRỊNH THANH THU, VŨ THỊ PHƯƠNG

Lĩnh vực: Sensor màng mỏng

Nội dung tài liệu:

Tài liệu này trình bày về màng mỏng nhạy khí, hay còn gọi là sensor thin film. Nội dung bao gồm giới thiệu chung về sensor, phân loại các loại sensor, đặc điểm và tính chất của sensor. Bên cạnh đó, tài liệu còn đề cập đến các phương pháp cải thiện tính chất của sensor, bao gồm các phương pháp khảo cứu đặc tính. Cụ thể, tài liệu đi sâu vào các phương pháp phân tích cấu trúc như Nhiễu xạ tia X (XRD), Hiển vi điện tử quét (SEM), và Hiển vi lực nguyên tử (AFM). Đồng thời, các phương pháp khảo sát tính chất như phân tích bão hòa và phân tích giới hạn xác định cũng được đề cập. Cuối cùng, tài liệu điểm qua các ứng dụng của màng mỏng nhạy khí.

Mục lục chi tiết:

  • Giới thiệu
  • Các loại sensor
  • Đặc điểm tính chất của sensor
  • Các phương pháp cải thiện tính chất
  • Phương pháp khảo cứu đặc tính của sensor
    • Phân tích cấu trúc
    • Khảo sát tính chất nhạy khí
  • Các ứng dụng