Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Nền CuO Và ZnO Định Hướng Ứng Dụng Trong Linh Kiện Điện Tử

Luận án này tập trung nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng từ các ô-xít bán dẫn vô cơ, cụ thể là CuO và ZnO, với mục tiêu ứng dụng trong các linh kiện điện tử. Nghiên cứu lý giải sự cần thiết của việc tìm kiếm vật liệu mới thay thế cho silíc và vật liệu hữu cơ truyền thống, mang lại ưu điểm của cả hai loại vật liệu này và khắc phục nhược điểm của chúng.

Các màng mỏng ZnO và CuO được lựa chọn vì sự phổ biến, giá thành rẻ, thân thiện với môi trường và các tính chất quang, điện phù hợp cho thiết bị điện tử. Đặc biệt, sự kết hợp giữa hai loại vật liệu này để tạo thành cấu trúc dị thể (heterojunction) cho pin mặt trời đã thu hút sự quan tâm đáng kể.

Luận án sử dụng phương pháp sol-gel kết hợp với kỹ thuật quay phủ để chế tạo các màng mỏng bán dẫn loại n (ZnO) và loại p (CuO), cũng như các linh kiện thử nghiệm như transistor và pin mặt trời. Các tính chất của màng mỏng được khảo sát bằng nhiều phương pháp hiện đại, nhằm tối ưu hóa quy trình chế tạo và nâng cao chất lượng.

• Lời cam đoan
• Lời cảm ơn
• Danh mục các ký hiệu và chữ viết tắt
• Danh mục các bảng
• Danh mục các hình vẽ, đồ thị
• Mở đầu
• Chương 1: Tổng quan ô-xít bán dẫn kim loại và ứng dụng
• Chương 2: Chế tạo và các phương pháp phân tích tính chất của các màng mỏng
• Chương 3: Kết quả khảo sát tính chất của các màng mỏng bán dẫn loại n và p
• Chương 4: Ứng dụng màng mỏng ZnO và CuO
• Định hướng nghiên cứu tiếp theo
• Danh mục các công trình khoa học của tác giả liên quan đến luận án
• Tài liệu tham khảo