Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Al2O3 Bằng Phương Pháp Phún Xạ Magnetron RF

Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Al₂O₃ Bằng Phương Pháp Phún Xạ Magnetron Rf

Tác giả: Giang Văn Phúc, Lê Vũ Tuấn Hùng, Ngô Thị Kim Hòa, Lê Văn Hiếu, Huỳnh Thành Đạt

Lĩnh vực: Khoa học Tự nhiên, Vật lý

Nội dung tài liệu:

Bài báo này trình bày nghiên cứu về việc chế tạo thành công màng mỏng Al₂O₃ bằng phương pháp phún xạ magnetron RF. Màng được nghiên cứu về tính chất quang bằng phép đo UV-VIS, thành phần bằng quang phổ hấp thu hồng ngoại (IR absorption) và quang phổ phản xạ toàn phần tắt dần (ATR), quang phổ Raman. Cấu trúc màng được khảo sát bằng phổ tán xạ tia X (XRD) và ảnh chụp AFM. Nghiên cứu này còn tiến hành khảo sát quá trình chuyển pha do nhiệt độ bằng phổ hấp thu hồng ngoại và phổ XRD.

Mục lục chi tiết:

1. GIỚI THIỆU
2. THỰC NGHIỆM
3. KẾT QUẢ VÀ BÀN LUẬN
3.1. Tính chất quang của màng Al₂O₃
3.2. Phổ IR của màng Al₂O₃
3.3. Phổ IR của màng qua xử lý ủ nhiệt
3.4. Phổ Raman của màng Al₂O₃
3.5. Ảnh AFM
4. KẾT LUẬN