Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật: Nghiên cứu phương pháp và xây dựng mô hình thiết bị đo cấu trúc hình học ba chiều bề mặt tế vi của chi tiết quang cơ theo nguyên lý giao thoa ánh sáng trắng

Nghiên cứu phương pháp và xây dựng mô hình thiết bị đo cấu trúc hình học ba chiều bề mặt tế vi của chi tiết quang cơ theo nguyên lý giao thoa ánh sáng trắng

Tác giả: Phan Nguyên Nhuệ

Lĩnh vực: Kỹ thuật cơ khí

Nội dung tài liệu:

Luận án này tập trung nghiên cứu phương pháp và xây dựng mô hình thiết bị đo cấu trúc hình học ba chiều (3D) của bề mặt tế vi. Phương pháp đo được đề xuất dựa trên nguyên lý giao thoa ánh sáng trắng, một kỹ thuật quang học không tiếp xúc có ưu điểm về độ phân giải và độ chính xác cao. Luận án đi sâu vào phân tích cơ sở lý thuyết, kỹ thuật xử lý tín hiệu giao thoa, cũng như xây dựng và mô phỏng hoạt động của thiết bị đo. Các kết quả thực nghiệm thu được từ mô hình thiết bị sẽ được trình bày và đánh giá, bao gồm việc đo cấu trúc hình học 3D của các chi tiết quang cơ và chi tiết cơ khí, nhằm xác định độ chính xác và khả năng ứng dụng của phương pháp đề xuất.

Mục lục chi tiết:

• Lời cam đoan
• Lời cảm ơn
• Mục lục
• Danh mục các chữ viết tắt và ký hiệu
• Danh mục các bảng
• Danh mục các hình vẽ, đồ thị
• Mở đầu
• Chương 1: Đo cấu trúc hình học bề mặt, những tiến bộ và tồn tại
• Chương 2: Đo cấu trúc hình học ba chiều bề mặt bằng giao thoa ánh sáng trắng – Cơ sở lý thuyết và kỹ thuật xử lý
• Chương 3: Xây dựng mô hình thiết bị đo cấu trúc hình học ba chiều bề mặt bằng giao thoa ánh sáng trắng
• Chương 4: Một số kết quả đo cấu trúc hình học 3D bề mặt sử dụng mô hình thiết bị
• Kết luận
• Danh mục công trình của tác giả
• Tài liệu tham khảo
• Phụ lục